激光干涉仪，是以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。但是测量工件的仪器必须有移动轴或者外部有移动轴，若用激光干涉仪测量工件的长度就测不了。

从上可以看出三坐标测量仪和激光干涉仪两者还是有本质区别的。