检具失效的基本形式：磨损失效，断裂失效，塑性变形失效

1） 磨损

检具作为一种检测设备，在零件不发生位移的情况下，检具上的功能件需要相应的姿态移动和调整或在其他工具的配合下，才能到达产品的检测区域，进行有效的质量判定。尤其是Cubing 检具，开口检具，功能性主模型，可拆卸模块较多，每一次的装拆和搬运都会对检具的稳定性产生少许的影响。

检具在使用时，活动件之间相互运动，手持件与产品接触等都会导致零件的磨损，检具使用时间越长，则磨损量也越大，磨损也就越严重。

磨损的形式由有腐蚀磨损，粘着磨损。判断检具是否磨损而失效的主要标准是三坐标测量，当测量报告显示检具尺寸超出允许的公差范围时即宣告检具失效。检具上发生磨损频率高，对精度影响大的部分是定位销，检测销，划线销，翻转和平移装置，可拆卸模块，滑动导轨，燕尾槽等等，这些部分需要经常检查，是日常维护保养的重点区域。

2） 塑性变形

当检具零件承受的载荷使零件内部的应力超过其自身材料的屈服强度时，零件就会产生塑性变形，常见的塑性变形失效有工作零件出现表面皱纹，局部塌陷和棱角倒塌等。检具产生塑性变形的危害非常严重，轻微的塑性变形不易察觉，如果在运输，移动，受到外力的作用下，检具的塑性变形会放大，严重的时候整个定位系统会处于失衡的状态，最终导致检具失效。一般塑性变形会出现在支撑零件上，如底板，支架，支撑板等承重型基础件，如果承重零件设计的比较薄弱，检具的稳定性差，直接影响重复性在线性的评测。

3） 断裂

检具在正常工作时，因为某种原因而突然出现较大裂纹，甚至分裂成几个部分，使检具整体或部分区域立即丧失工作能力的失效形式为断裂失效，常见的断裂失效有开裂，破裂，崩刃，折断等。很多情况下，检具断裂的部分受到过外力的冲击，短时间内零件无法转换，从而导致断裂。零件受力的方向一般有两种，一种是径向受力，一种是横向受力。横向力目前是导致检具零件断裂的主要原因，所以，使用检具时，要尽量避免在应力集中的区域的施力。