对坐标测量机全部21 项误差( 21 个自由度上的误差) 的补偿上。固定补偿模型的精度取决于三坐标测量机的测量重复性、补偿模型的完善程度以及校准方法的精度。自适应补偿模型用于正坐标测量机随机发生的几何构成上的变化。提高三坐标测量机精度的成本取决于测量机的重复而不是几何精度。通过精度提高一般可使几何误差减少80%~ 90% 。温度变化是引起三坐标测机的几何构成发生变化的因素。当对测量机光栅尺及工件都进行了校正后, 由热膨胀引起的误差可减少80%以上。温度测量的不确定性及热膨胀系数的变化留下10% ~ 20% 的残差得不到校正。但当温度迅速变化时, 由于情况变得复杂, 线性温度补偿不能很好地起作用。国外曾限元分析的方法生成补偿模型。此法可使结构对温度变化的响应作出很好的预测, 但在预测边界条件时( 如周围空气的热传导率) 存在的困难, 而只能得到十分近似的模型总体。与坐标测机中相应的误差相比, 工件变形较大。目前国外还没有出现用于温度变化条件下的自适应补偿技术.