1：必须提高三坐标测量机结构的精度，包括测量机主机、分度台、测头与各种测头附件的精度。这里尤为重要的是提高它的重复精度；

2：提高标尺的精度，激光干涉标尺系统将在测量机中得到较多应用，特别是大型三坐标测量机，这种“无形”标尺更有优点；

3：要努力减小力变形、热变形及其它环境因素带来的影响。特别要注意避免复杂力变形与热变形。这要从结构和环境控制两方面采取措施；

4：还要采用适当的采样策略。能针对被测参数及精度要求，采用采样策略。